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008 点沙成硅


  看完江维的补充。

  戈登·蒂尔:【微笑.gif,没想到我杀青以后人们又搞了这么多花样,第三代半导体材料都出来了,果然是后生可畏啊!】

  观众大松饼:“等等,刚才主播说第二代半导体材料有环境污染?那个砷化镓,砷是不是砒霜,那会不会有毒啊!”

  观众长鼻长在腰上:“啊!砷化镓芯片主要用在哪里啊,主播给提个醒呗,有毒的话我就不用!”

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  观众太空漫步者:“哈哈哈,那你别用手机了。砷化镓材料的芯片主要用在手机上,还有一些光电器件和LED上。”

  观众长鼻长在腰上:“啊,你别吓我啊。”

  观众太空漫步者:“真的啊,手机和基站上的射频功率放大器一般都用这种。有这个玩意,你才能不用趴在基站上就能接收和发送信号。

  2G的可能没有,但是3G4G5G都是这个哦。

  还有手机的3D人脸识别,也需要靠一种叫VCSEL的芯片才能实现,而且是多颗哦。

  VCSEL是一种半导体激光器,全名叫垂直腔面发射激光器。

  采用多颗VCSEL芯片的泛光照明器和红外点阵投影器,可以实现3D人脸识别和其它3D感应应用。”

  观众长鼻长在腰上:“哎哟哟,摸着我的小心脏,那岂不是我已经毒入膏肓了!完了完了!”

  看到观众的议论,江维赶紧解释道:

  “砷化镓的熔点为1238度,在600度以下能在空气中稳定存在,是没有毒的。在熔点以上,砷化镓才会缓慢分解成砷和稼。

  砷的熔点只有615度,在空气中加热后会氧化,产生三氧化二砷,就是砒霜了。这个是有毒的,对人的中毒剂量为0.1g到0.25g。

  在1238度的环境下,人早没了,就不必考虑会不会砷中毒的问题了。

  环境污染主要是砷化镓在生产过程中,相比起硅,在排放的废气和废水中会有砷化物,因此需要特殊的安全处理。”

  观众长鼻长在腰上:“嘿,那个太空漫步者你吓我!你个逗比!”

  观众暗中观察:“他,逗你呢……”

  观众长鼻长在腰上:“擦!”

  江维:“好了,我们继续听戈登·蒂尔介绍一下晶圆是怎样炼成的吧。”

  戈登·蒂尔:【你们前面的聊天也提到过,PN结掺杂杂质的量级,是在百万中添加一个杂质原子,这就要求原本的锗晶体本身纯度足够高。

  实际上半导体锗片或者硅片纯度要求标准为11个9以上(99.999999999%),光伏相对要求较低,纯度标准为4至6个9(99.9999%)。

  肖克利他们提出了PN结型晶体管的理论,但要把东西做出来,在技术上最大的障碍就是缺乏足够纯净、均匀的半导体“锗”材料。】

  布拉顿:【对!的确如此。当时蒂尔提出一个大胆的设想,认为先制造出一个大的“锗单晶”才有可能进行P结或者N结的掺杂

  但那个时间,我们都没有意识到这一点,对他的提议几乎没人重视。

  主要是,我们还是一帮搞科研的,当时并没有去想这个PN结晶体管如果要大规模生产,怎样的工艺和步骤才是更合理的。

  我们当时就琢磨着做几个能验证理论的“样品”,所以在考虑其他方式。

  正是因为有了蒂尔的研究,我们贝尔实验室才在1951年生产出第一批商业化PN结晶体管M1752。

  如果没有蒂尔,我们的东西大概也只能在实验室中吃灰。】

  观众雾里看花:“所以,这是逢人白眼然后一招打脸的故事!”

  戈登·蒂尔:【呃,当初大家不认可我的想法确实有些压力。所以这里要特别感谢一下我的两个小伙伴,实验室的机械工程师约翰·利特尔和技术员厄内斯特.布勒,是他们两人支持我一起设计和制造了一台能够满足晶体生长的设备。】

  观众暗中观察:“还自己做设备!我的天,这不就是想吃西红柿炒鸡蛋还得种西红柿嘛!”

  戈登·蒂尔:【既然现在硅是芯片的主流材料,我就跟大家详细讲一下硅晶圆的制作好了。当初做“锗晶”的过程就后面几句话简单说一下。】

  观众大松饼:“对对对,我就想知道,拔丝的硅怎么就变成芯片的。”

  戈登·蒂尔:【硅在沙子中主要以二氧化硅的形式存在,所以,先要将沙子与焦炭、煤或者木屑等混合,在石墨电弧炉中高温加热,将二氧化硅还原成硅。

  这样大概能获得纯度在98%左右的多晶硅,然后再经过一些列化学过程,比如三氯氢硅法进行逐步提纯,最终得到纯度在9个9以上的电子级多晶硅。

  但用于芯片制作的硅必须是单晶硅,这两者区别在于,单晶硅的硅原子排列方向是有序的,而多晶硅不是。

  从多晶硅到单晶硅,这个时候就要用到CZ直拉法了,所谓“拉晶”。

  拉单晶工艺是硅片制作最核心的工艺步骤,它决定了硅片的质量和纯度。

  刚才说了,这里用来拉晶的多晶硅材料是9个9以上的纯度,而最终的半导体硅片纯度必须达到11个9以上,即99.999999999%。

  第一步,把多晶硅材料放在坩埚内加热熔化。

  第二步,把“晶种”放进去。所谓晶种,就是和目标晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的“种子”。用不同晶向的种子会得到不同晶向的单晶。

  所谓种什么,得什么。

  第三步,将晶种缓慢地垂直拉伸,晶体会在晶种下端生长,并随着晶种的提拉逐渐长长,形成一根“晶棒”。

  现在晶圆尺寸越做越大,从过去的2寸、4寸到8寸,为了提高良率和品质,现在又在CZ法中的核心设备CZ单晶炉中配备了磁场产生装置,用来进行温度控制。

  这种加了磁场的工艺称为MCZ法,是当下的主流技术。

  当然,现在的单晶硅制备技术除了直拉法还有FZ悬浮区熔法。

  直拉法的优点是出品的硅含氧量较高、机械强度更大,在制作电子元件过程中不易形变,且更容易做出大尺寸的硅棒。

  而且直拉法成本更低,晶体的生长速度较快。目前大概有85%的单晶硅片由CZ直拉法制成。

  但是FZ悬浮区熔法也有它的优势,这种方式做出来的单晶硅电阻率非常高,特别适合用来制作电力电子器件。比如整流器、探测器件、  IGBT等高功率器件。

  另外FZ悬浮区熔法不会用到坩埚,避免了坩埚造成的污染,使得单晶硅的纯度更高,能更好满足制作功率器件的要求。

  用FZ悬浮区熔法拉出来的单晶硅尺寸主要为6寸。】

  江维补充道:【4  英寸硅片产生于1986  年,6英寸产生于1992  年,8英寸产生于1997,12  英寸产生于  2005  年。】

  戈登·蒂尔:【英特尔和IBM  2002年建成了12英寸硅片产线,2005年就推出产品了,还是挺快的。可惜我看不到了……】

  江维:【12英寸的硅片在2005年的时候市场占比在20%左右,在2017年已经接近67%,市场还在持续扩大。

  下一个技术节点是18英寸,以英特尔和台积电等厂商为主导,相关研发专案据说已经取得了一些进展,但因为不具备生厂效益而有所搁置。

  所以,12英寸硅片还没有受到产品迭代所带来的影响,未来较长一段时间内应该会继续保持市场地位。

  另外FZ悬浮区熔法拉出来的单晶硅尺寸现在已经可以做到8寸了,不过再往上就很困难了。】

  观众最爱螺蛳粉:“等等,刚刚不还在说硅棒么,那个多少寸多少寸的,是怎么出来的?”

  江维把弹幕复制了一遍发到群里,既然科普就科普个明白呗。

  戈登·蒂尔:【微笑.gif,晶棒做出来以后,用钻石刀将单晶硅晶棒横向切割成圆片,再经过抛光后就可以得到硅晶圆。

  晶棒的直径决定了晶圆的直径,这里讲的多少英寸都是指的直径。】

  


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