第398章

林曦月站在光刻机的操作台前，开始一系列的操作。

开始的那一刹那，一个显示屏将它里面的操作放慢放大无数倍，足以让他们看清整一个过程。

只见发出的光在通过有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶在见到光之后开始产生变化，将光罩上的图形慢慢的复印到薄片上。

“检测分辨率。”

“好的老大。”严谨应了一声开始跟曹育华动手操作。

等一串数据展现在众人的眼前时，林曦月接着说道：“检测对准精度。”

......

随着一个个光刻机的性能测试，一串又一串的完美数据被一一的列出。

国际上最顶尖的光刻机，物理系统孔径仅为0.33，可以支持7nm和5nm制程的芯片。

但是这一个光刻机，国外都要耗费上百亿，耗时十几年才能完成。

他们却在短短不到一年的时间内，制造出3nm的光刻机。

要知道需要支持3nm芯片的制造，硅原子不到0.2nm，需要让一束激光准确无误地切开几个硅原子之间的连接。

这个操作比登天还难，但是他们做到了！

身为研究光刻机多年的老人，徐院士看着那一串串数据，不用林曦月宣布，他都知道3nm的光刻机，真的出现了！

徐院士轻轻拭去眼角泛出的泪水，没想到他有生之年能看到3nm的光刻机出现，还是华国先做出来的。

一旁的罗甘看到徐院士的反应，有些愣愣的看向林曦月，“这是...成功了吗...”

林曦月笑着点点头，“嗯，成功了。”

随着她的宣布，研究室爆出一阵欢呼。

“老大！我们成功了！”

“我的天，我们真的做出来了！”

“3nm的光刻机，我看霉国还有什么话说！”

“对！谁稀罕他们的5nm光刻机啊！”

在众人的你一言我一语中，罗甘颤抖着手走上前，像是对待自己的恋人一般，轻轻地抚摸那台冰冷的机器。

国外的光刻机技术一直都很发达，华国的光刻机技术落后他们大约20年的时间。

所以在光刻机这方面的技术，华国一直被捏住喉咙。

加上霉国近年来一直试图联系何国各个公司，阻碍他们出口光刻机给华国。

因此在光刻机上的研发，迫在眉睫。

之前做出22nm的光刻机，已经足够让人兴奋的了。

虽然国外的技术超前，但是他们同样不得不在3nm的光刻机面前低头。

3nm是光刻机的最小工艺极限，或者说是EUV光刻机的最小工艺极限。

最根本的原因来自于纳米光子工艺极限性，即使有多种技术来操纵光，EUV光刻机的波长极限就是13.5nm。

并且半导体的主要材料是硅，然而硅原子直径大约是0.12nm。

10个硅原子排成一列的程度大约为1.2nm，所以想再突破3nm的光刻机，那就涉及到了操纵原子的境界。

或者再重新找到合适的波长，对于EUV光刻机，3nm是目前的最大极限。

所以即使国外能造出5nm的光刻机，对于3nm的光刻机也无从下手。

这也是华国最好赶超的时候，大家都做不出来，那就等我们一点一点赶上来。

没想到就在今天，华国直接一跃从22nm飞到令国外头疼的3nm。

这如何不让人激动！

在他们测试的时候，已经有一队兵哥将研究室围的密不透风，一只苍蝇都别想飞出去。


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