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第二百四十四章 光刻失败


  你斗你的狠,我干我的活。
丁驰虽然不清楚茵仙等人的具体操作,但也能想象到其与假想敌正斗的不可开交。趁着敌人无瑕多顾之际,正是大干特干加油干的好时候,公司上下干劲十足,仅月余时间进度就非常可观。
这天一早,焦甄就邀请丁驰和诸葛默然到车间参观。当然了,做为非科研人员,参观只能在外围,只能隔着玻璃。
虽然同在一个院落,但由于分工不同,加之高精度产品的特殊性,丁驰很少到车间,那样他麻烦,别人也麻烦。今天就为了这个参观,丁驰全身都进行了“武装”——白大褂、头套、鞋套、手套,还温习了相关注意事项。
步入参观走廊,焦甄抬手示意:“丁老板、诸葛老,请看,这是制作晶圆程序。晶圆的成分是硅,是由石英沙精练出来的,咱们这是高纯度外晶圆,纯化率达到了八个九。咱们直接购进的硅晶棒,也就省去了前面精练的过程,因此程序第一步就是制作晶圆,把硅晶棒切片。晶圆越薄,出产率越高,生产成本就越低,但对工艺要求就越高。从近几天的操作来看,这道工序非常成功,足见我们的设备和人员都是过硬的。”
耳边听着讲解,仔细盯着里面的操作,丁驰暗暗点头:不错,确实不错。虽然他不够专业,但也绝不外行,毕竟忙活了这么长时间,还在首都奋忠电子厂专门实习过。
三人接着往前走,又到了下一道工序——晶圆涂膜。
焦甄继续介绍:“涂膜就是在晶圆表面涂一层光刻胶,就是郑工现在拿的那个,再把这层胶烘干,之后就会传送到光刻机里面。别看只是涂胶,但讲究非常多,均匀度、密度都有严格要求,这也是影响抗氧化和耐温能力的重要步骤,可以说是差之毫厘,不,差之纳米,谬之千里。”
“这下一步就轮到光刻了,这里面步骤很多,我们在这里好多看不到。首先要用紫外光照射,不是直接照,是通过光罩和凸透镜照,把晶圆上涂膜照的软化了。之后再……”
焦甄滔滔不绝,满脸喜色,就好似父亲谈论自己的孩子一样,喜爱之情显而易见。
花了一个多小时时间,焦甄向丁驰和诸葛默然介绍完“孩子”,把二人送出了生产车间。
“丁老板、诸葛老,今天我们要做第一块光刻电路,各项准备工作非常充分,前期进展也很是顺畅,您二位就等着我们胜利的消息吧。”焦甄信心十足。
“好,共同期待。”与焦甄握手辞别,丁驰和诸葛默然一同离去,分别回了各自办公室。
惬意的靠在椅背上,丁驰非常舒心。想想从开始的艰难起步,到现在的设备齐全、进展顺利,真是感慨良多。
留待以后感慨吧,鼓足干劲,继续前进。想至此,丁驰坐正身体,继续处理着手头工作。
忙忙碌碌中,一天时间很快过去,丁驰伸了个懒腰,准备去吃晚饭。
“噔噔噔”,一阵急促脚步声忽然传来。
紧跟着就是“笃笃”的敲门声。
“进来。”
丁驰话音刚落,屋门打开,焦甄快步进来。看到对方神色,丁驰顿有一种不好预感。
果然,焦甄开口便是“光刻失败了”。
尽管多少有点失落,但丁驰还是马上道:“很正常,哪有一次就成功的。”
“清洗硅片时,从化学清洗到漂洗再到烘干我都全程盯着,预烘、底胶涂覆、光刻胶涂覆、前烘、对准我也在场,显影、坚膜、刻蚀、离子注入时更是一刻不离,没发现有任何不妥,全是严格按规程和步骤操作呀。可是最终光刻线路结构却出现了偏差,根本达不到要求。”焦甄说到这里,长长打了个唉声:“唉……丁老板,我这也……”
丁驰连连摆手:“没事,没事,再正常不过了,查漏补缺,进一步完善。”
连着打了几个唉声,焦甄急匆匆离去,查找原因去了。
正这时,诸葛默然来了,他也听说了光刻失败的事。二人一同奔向食堂,边走边聊。
诸葛默然抬手一指:“刚才老远看见焦甄,从那边急吼吼的走过,头也不抬,显见上火了。这段时间以来,焦甄就跟充了气似的,浑身有用不完的劲,每天都工作十四五个小时,除了睡那几个小时外,几乎就没离开过岗位。这段时间里,整个研发也进展迅速,他的心气更高,这冷不丁的没弄成,心里自然不好受。”
丁驰点头道:“是呀。刚才我劝他莫要着急上火,显然他也没听进去,满脑子都在盘算着工作。等到有时间,您也帮着劝一劝,不要把弦绷的那么紧,否则长时间下去肯定受不了。”
“看时间吧,稍过几天再说,现在他也听不进去,很可能还会适得其反。”
说话间,二人进了食堂。
吃过晚饭,在院子里随便溜达了两圈,丁驰又回到自己屋子,处理起了手头工作。
晚上十一点多,丁驰正准备休息时,焦甄又来了。
“我们交叉互换,核查了所有程序,前面的流程没发现任何问题,现在正在进行最后一步核查——去除光刻胶。他们正在查操作步骤,也在论证操作方式的合理性。丁老板,你放心,就是连着几夜不睡,也一定要把问题找出来。”焦甄咬着牙道。
丁驰指着钟表说:“马上就十二点了,让大家都休息吧,老这么撑着也不行。还是那句话,首次弄这个,太正常了,没必要耿耿于怀。”
“睡也睡不着,哪有心思睡?我来就是告诉你,我们一定会第一时间查出问题,一定会引以为戒。好了,你睡觉吧,我走了。”焦甄说完,不等丁驰回复,转身便走。
丁驰跟出两步,想了想,又转身回了屋子。
“太拗了,这算优点还是缺点。”丁驰轻轻摇头,进了里屋卧室。
尽管时间已经很晚,可丁驰躺在床上就是睡不着,翻来覆去的折腾着。按说自己对今天的事看的非常淡,根本没往心里去,咋就睡不着呢?


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